●耐衝撃性に富んだ設計構造の測定子です。●気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。●大気圧から低真空領域（０．０５～１０００００Ｐａ）の測定が可能です。●フィラメントには耐久性に富んだ白金を採用しています。●センサーユニットと測定子の一体化により省配線、省スペース、省電力が可能です。●JCSS校正も可能です。

【用途】
●太陽電池・ＦＰＤ・半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の低真空測定に。●真空炉をはじめとする各種産業機器の低真空測定に。●大気圧からの広帯域の真空測定に。

【仕様】
●測定圧力範囲(Pa)：0.05～100000●電源電圧(V)：DC24●測定子：SWP-16●取合いフランジ：NW16●質量(g)：150
●表示：無し●レコーダー出力：０－１０Ｖ／Ｌｏｇ出力●外形寸法：４６×２８×105ｍｍ（センサーユニット＋測定子）

【材質／仕上】
●測定子フィラメント・白金（Ｐｔ）

●本製品を日本国外へ輸出する場合は、ご一報いただくと共に外国為替及び外国貿易管理法等、輸出管理の規定に従って手続きが必ず必要になります。



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